DEVICE
設備・装置紹介
小型卓上スピンコーター
型式:labo-coat
【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
本体サイズ | W140×D205×H195mm(安全蓋開放時:330㎜H) |
本体重量 | 3.3Kg |
動作制御 | 回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec) |
回転数 | 2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位:100rpm |
対象基板サイズ | 1インチ(MAX□25㎜相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。 |
基板吸着方法 | 真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵) |
電源 | AC電源/100V/2.0A/コンセント |
カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御) | |
カップ | Φ130㎜ (材質:SUS304)※オプション:テフロンコート可能。 |
吸着テーブル | Φ9㎜orΦ21㎜(材質:デルリン) |
小型卓上スピンコーター
型式:labo-coat-2
【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
本体サイズ | W170×D205×H195mm(安全蓋開放時:370㎜H) |
本体重量 | 3.5Kg |
回転数 | 2000~8000rpm(MAX) |
対象基板サイズ | 2インチ(MAX□50㎜×1.1㎜t相当) ※規格サイズは別途ご相談ください。 |
基板吸着方法 | 真空ポンプによる吸着(真空ポンプ/本体内蔵タイプ) |
電源 | AC電源/100V/2A/コンセント |
カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御) | |
カップ | Φ170㎜ (材質:SUS304) |
吸着テーブル | Φ46㎜(材質:デルリン) |
小型卓上スリットコーター
型式:CSC-200,CSC-100
【特徴】
・軽量コンパクト、簡単操作、低コスト、塗工テスト
・独自のシリンジ方式を採用し微量塗工・高粘度塗工が可能
・スリット幅は200㎜用&100㎜用をシムにより塗工幅を調整
・ギャップ調整はJOGボタンで1μm単位でデジタル表示で設定
・基板との平行度は手動にて簡単に調整可能
・ステージは真空吸着ポーラスを使用
・軽量コンパクト設計により、持ち運び&セッティングが容易
・CSC-100はグローブボックスに設置可能
・軽量コンパクト、簡単操作、低コスト、塗工テスト
・独自のシリンジ方式を採用し微量塗工・高粘度塗工が可能
・スリット幅は200㎜用&100㎜用をシムにより塗工幅を調整
・ギャップ調整はJOGボタンで1μm単位でデジタル表示で設定
・基板との平行度は手動にて簡単に調整可能
・ステージは真空吸着ポーラスを使用
・軽量コンパクト設計により、持ち運び&セッティングが容易
・CSC-100はグローブボックスに設置可能
【CSC-200】
塗布 | スリットダイ方式 |
送液 | シリンジポンプ方式(SUS製) |
塗布領域 | 200㎜×200㎜ |
装置寸法 | W342㎜×D558㎜×H260㎜ |
本体重量 | 25kg |
【CSC-100】
塗布 | スリットダイ方式 |
送液 | シリンジポンプ方式(SUS製) |
塗布領域 | 100㎜×100㎜ |
装置寸法 | W240㎜×D362㎜×H260㎜ |
本体重量 | 18kg |
小型卓上ディップコーター
型式:labo-coat Dip1
【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・引上げ速度、塗布液冷却温度を簡単設定
・小型軽量卓上タイプ
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・引上げ速度、塗布液冷却温度を簡単設定
・小型軽量卓上タイプ
本体 | W890×D250×H60mm |
重量 | 約35kg |
方式 | 昇降アクチュエータによるディップコーティング |
コーティング槽 | W146 x D20 x H23.5mm オーバーフロー式 |
昇降 | 0.03mm/sec~240mm/sec |
最大可搬質量 | 14kg |
小型卓上スプレーコーティング
塗布液:有機溶剤
基板サイズ:□200㎜(MAX)
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
ノズル圧力:MAX0.5Mpa
塗布膜厚:5~10μm
膜厚精度:±3%
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル
基板サイズ:□200㎜(MAX)
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
ノズル圧力:MAX0.5Mpa
塗布膜厚:5~10μm
膜厚精度:±3%
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル