DEVICE
設備・装置紹介

小型卓上スピンコーター

型式:labo-coat

【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
 回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
本体サイズ W140×D205×H195mm(安全蓋開放時:330㎜H)
本体重量 3.3Kg
動作制御 回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec)
回転数 2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位:100rpm
対象基板サイズ 1インチ(MAX□25㎜相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。
基板吸着方法 真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵)
電源 AC電源/100V/2.0A/コンセント
  カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御)
カップ Φ130㎜ (材質:SUS304)※オプション:テフロンコート可能。
吸着テーブル Φ9㎜orΦ21㎜(材質:デルリン)

小型卓上スピンコーター

型式:labo-coat-2

【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・独自開発の制御基板システム(操作ボタン2箇所)
 回転数・加速時間・回転数保持時間・減速時間を簡易設定
・持ち運びが便利なハンディー軽量タイプ!
本体サイズ W170×D205×H195mm(安全蓋開放時:370㎜H)
本体重量 3.5Kg
回転数 2000~8000rpm(MAX)
対象基板サイズ 2インチ(MAX□50㎜×1.1㎜t相当) ※規格サイズは別途ご相談ください。
基板吸着方法 真空ポンプによる吸着(真空ポンプ/本体内蔵タイプ)
電源 AC電源/100V/2A/コンセント
カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御)
カップ Φ170㎜ (材質:SUS304)
吸着テーブル Φ46㎜(材質:デルリン)

小型卓上スリットコーター

型式:CSC-200,CSC-100

【特徴】
・軽量コンパクト、簡単操作、低コスト、塗工テスト
・独自のシリンジ方式を採用し微量塗工・高粘度塗工が可能
・スリット幅は200㎜用&100㎜用をシムにより塗工幅を調整
・ギャップ調整はJOGボタンで1μm単位でデジタル表示で設定
・基板との平行度は手動にて簡単に調整可能
・ステージは真空吸着ポーラスを使用
・軽量コンパクト設計により、持ち運び&セッティングが容易
・CSC-100はグローブボックスに設置可能

【CSC-200】

塗布 スリットダイ方式
送液 シリンジポンプ方式(SUS製)
塗布領域 200㎜×200㎜
装置寸法 W342㎜×D558㎜×H260㎜
本体重量 25kg

【CSC-100】

塗布 スリットダイ方式
送液 シリンジポンプ方式(SUS製)
塗布領域 100㎜×100㎜
装置寸法 W240㎜×D362㎜×H260㎜
本体重量 18kg

小型卓上ディップコーター

型式:labo-coat Dip1

【特徴】
・最小、最軽量クラス、簡単操作設定
・安価な価格設定、コンパクト設計
・引上げ速度、塗布液冷却温度を簡単設定
・小型軽量卓上タイプ
本体 W890×D250×H60mm
重量 約35kg
方式 昇降アクチュエータによるディップコーティング
コーティング槽 W146 x D20 x H23.5mm オーバーフロー式
昇降 0.03mm/sec~240mm/sec
最大可搬質量 14kg

小型卓上スプレーコーティング

塗布液:有機溶剤
基板サイズ:□200㎜(MAX)
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
ノズル圧力:MAX0.5Mpa
塗布膜厚:5~10μm
膜厚精度:±3%
ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル