Q&A
よくある質問


小型卓上スピンコーター

Q デモ機の貸出は可能ですか?

A日本全国貸出可能です。希望に応じ御社に訪問させていただきます。御社で使用されます基材の材質・サイズ・厚みと使用薬液はご教授ください。

Q 卓上スピンコーターの長期貸出は可能ですか?

A弊社では必要な時期に、必要な期間デモ機をお貸出しいたします。 レンタル期間:15日~120日 ※120日以上のご要望の場合は要検討致します。

Q スピンコーターの見学は可能ですか?

A可能です。装置を見学いただき、装置性能・動作確認・操作性などご説明致します。

Q スピンコーターの導入実績を教えてください。

A主な実績ですが、産業技術総合研究所・物質材料研究機構・各大学・企業の研究開発部門となります。

Q スピンコーターの安全対策はどうなっていますか?

A安全カバー・非常停止機能・吸着エラーは標準仕様となっております。安全カバーのセーフティーロックが不要な場合は解除が可能です。

Q 安全カバーが不要な場合はどうすれは宜しいですか?

A簡易的に取り外す事も可能です。安全カバー脱着後は安全上十分な注意が必要です。(安全カバーの中央部にはスライド窓がございますので、回転中に塗布液の滴下は可能です。)

Q グローボックス内での使用は可能ですか?

A弊社のコーターは小型モデルでございますので、多くのケースで使用頂いております。

Q 対象基板サイズのどこまで対応可能ですか。

A標準機ではMAX2インチ(50mm□)ですが、カスタマイズ仕様でΦ300㎜(12インチウエハ)まで対応実績がございます。

Q 吸着テーブル(試料台)の材質・サイズ変更は可能でしょうか。

A標準機では、黒デルリン(POM)ですが、テフロン・PEEK・アルミ・SUS製など変更可能です。サイズもカスタマイズ対応可能でございます。

Q サポート体制はどうなっていますか?

Aまずは弊社にご連絡下さい。技術スタッフが対応いたします。

Q labo-coatとlabo-coat-2の違いを教えてください。

A本体の基本仕様に変更はございません。対象基板に合わせ、カップと安全カバー・吸着テーブルを交換しております。1インチ⇔2インチの変更・サイズup・downで、改めて装置を新規で購入する必要はございません。

Q スピンコーターの価格を教えてください。

A本体・吸着テーブル・真空ポンプ・配送料を含み、低価格にてご提供しております。見積につきましては別途お問い合わせください。

Q 装置購入時は、商社・代理店経由でも問題ないですか。

A直接取引、商社・代理店経由どちらでも結構でございます。

Q 装置の納入方法・オペレーションはどのようになりますか?

A装置は、混載便にて発送しております。(梱包時重量:約4.5㎏) 。操作説明ですが取扱説明書でご確認いただいております。ご不明点等御座いましたら、お気軽にご連絡ください。

Q 装置トラブル・不具合発生時はどうなりますか?

A各ユニットが、貴社運転時において、明らかに弊社起因による組立上、調整上生じた不具合に関しましては、速やかに無償にて部品の交換・調整・対策案の提示等を実施致します。また、代替機を準備しておりますので即座に準備いたします。

Q 賠償責任保険には加入されておりますか?

A加入しております。


スリットコーター・
スプレーコーター

Q 各塗布方式のテストは可能ですか?

A可能です。各装置ごとに、対象基板サイズが異なりますのでお問い合わせ頂ければ幸いです。

Q 装置の見学は可能ですか?

A可能です。装置を見学いただき、装置性能・動作確認・操作性などご説明致します。

Q 対象基板、塗布材料、洗浄剤の準備をお願いできますか?

Aお手数ですが、お客様にてご準備を頂いております。