設備・装置紹介
設備・装置紹介
《小型卓上スピンコーター》
型式：labo-coat
| １、本体サイズ：W140×D205×H195mm（安全蓋開放時:330㎜H) 本体重量：3.3Kg |
| ２、動作制御：回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec) |
| ３、回転数：2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位：100rpm |
| ４、対象基板サイズ：1インチ(MAX25㎜□相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。 |
| ５、基板吸着方法：真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵) |
| ６、ユーティリティー AC100V/2.0A/コンセント |
| ７、カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御) |
| ８、カップ：Φ130㎜ （材質:SUS304）※オプション：テフロンコート可能。 |
| ９、吸着テーブル材質：黒色デルリン(Φ9㎜orΦ21㎜/本体付属品) ※形状・材質・サイズは要相談。 |
小型卓上スピンコーターは、(公財)東京都中小企業振興公社 中小企業ニューマーケット開拓支援事業の支援対象製品です。※但し、公社は製品の効能効果を保証するものではありません。
型式：labo-coat-2
| １、本体サイズ：W170×D205×H195mm（安全蓋開放時:370㎜H) 本体重量：3.5Kg |
| ２、動作制御：回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec) |
| ３、回転数：2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位：100rpm |
| ４、対象基板サイズ：2インチ(MAX50㎜□相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。 |
| ５、基板吸着方法：真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵) |
| ６、ユーティリティー AC100V/2.0A/コンセント |
| ７、カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御) |
| ８、カップ：Φ170㎜ （材質:SUS304）※オプション：テフロンコート可能。 |
| 9、吸着テーブル材質：黒色デルリン(Φ46㎜/本体付属品) ※形状・材質・サイズは要相談。 |
《精密スリットコーター》
| １、基板サイズ：400×500×1.1㎜ｔ |
| ２、数cps～10,000cps(MAX) |
| ３、膜厚精度：±3.0%以内(基板端面5.0㎜除外) |
| ４、テーブル平面度：10μm以下（石定盤) |
| ５、塗布速度：100㎜/sec (走行機構：リニアモーター+LMガイド) |
| ６、基板厚み確認：レーザーセンサー（GAPセンサー） |
| ７、プレディスペンス機構 |
| ８、自動スリットノズル洗浄機構 |
《ディップコーティング》
| マイクロナノコーティング |
| 機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理 |
| 装置構成 |
| ・LD/ULD：自動タクト搬送 |
| ・DIPコーティング槽：単独／連結搖動 ストロークMAX400mm 速度可変 |
| ・超音波処理槽：スイープ式 40kHz・75kHz・110kHz |
| ・カスケード槽：3段カスケード・オーバーフローリンス |
| ・シャワーリンス・温風乾燥 |
| ・装置内温湿度管理システム |
《卓上型スプレーコーティング》
| ・塗布液：有機溶剤 |
| ・基板サイズ：200㎜□(MAX) |
| ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能) |
| ・ノズル圧力：MAX0.5Mpa |
| ・塗布膜厚：5~10μm |
| ・膜厚精度：±3% |
| ・ノズル：フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル |
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