設備・装置紹介

《小型卓上スピンコーター》

型式:labo-coat

1、本体サイズ:W140×D205×H195mm(安全蓋開放時:330㎜H) 本体重量:3.3Kg
2、動作制御:回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec)
3、回転数:2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位:100rpm
4、対象基板サイズ:1インチ(MAX25㎜□相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。
5、基板吸着方法:真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵)
6、ユーティリティー AC100V/2.0A/コンセント
7、カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御)
8、カップ:Φ130㎜ (材質:SUS304)※オプション:テフロンコート可能。
9、吸着テーブル材質:黒色デルリン(Φ9㎜orΦ21㎜/本体付属品) ※形状・材質・サイズは要相談。
小型卓上スピンコーターは、(公財)東京都中小企業振興公社 中小企業ニューマーケット開拓支援事業の支援対象製品です。※但し、公社は製品の効能効果を保証するものではありません。

型式:labo-coat-2

1、本体サイズ:W170×D205×H195mm(安全蓋開放時:370㎜H) 本体重量:3.5Kg
2、動作制御:回転数、加速(1~10sec)、回転数保持(1~60sec)、減速(1~10sec)
3、回転数:2000~8000rpm(MAX) ※回転数単位:100rpm
4、対象基板サイズ:2インチ(MAX50㎜□相当) ※規格外サイズは別途ご相談ください。
5、基板吸着方法:真空ポンプによる吸着(真空ポンプ本体内蔵)
6、ユーティリティー AC100V/2.0A/コンセント
7、カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます(安全インターロック制御)
8、カップ:Φ170㎜ (材質:SUS304)※オプション:テフロンコート可能。
9、吸着テーブル材質:黒色デルリン(Φ46㎜/本体付属品) ※形状・材質・サイズは要相談。
 

《精密スリットコーター》

 

1、基板サイズ:400×500×1.1㎜t
2、数cps~10,000cps(MAX)
3、膜厚精度:±3.0%以内(基板端面5.0㎜除外)
4、テーブル平面度:10μm以下(石定盤)
5、塗布速度:100㎜/sec (走行機構:リニアモーター+LMガイド)
6、基板厚み確認:レーザーセンサー(GAPセンサー)
7、プレディスペンス機構
8、自動スリットノズル洗浄機構

 

《ディップコーティング》

 

マイクロナノコーティング
機能性フィルム・ウエハ・光学レンズ・精密部品の多目的処理
装置構成
・LD/ULD:自動タクト搬送
・DIPコーティング槽:単独/連結搖動 ストロークMAX400mm 速度可変
・超音波処理槽:スイープ式 40kHz・75kHz・110kHz
・カスケード槽:3段カスケード・オーバーフローリンス
・シャワーリンス・温風乾燥
・装置内温湿度管理システム

 

 

《卓上型スプレーコーティング》

 

・塗布液:有機溶剤
・基板サイズ:200㎜□(MAX)
・ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル(ノズル交換可能)
・ノズル圧力:MAX0.5Mpa
・塗布膜厚:5~10μm
・膜厚精度:±3%
・ノズル:フラット散水型、フルコーン式、回転ノズル
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