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ミニ卓上スピンコーター【最小・最軽量クラス・簡単操作設定】





  • 研究・開発向けミニ卓上スピンコーター 型式:labo-coat
  • 安価な価格設定、コンパクト設計 (本体サイズ:W140×D205×H195mm)
  • 持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ (重量3.2㎏)
  • 基板吸着テーブル:真空ポンプによる吸着。
    (真空ポンプは本体内蔵・吸着テーブル標準装備)
  • 独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。
    (操作ボタン2箇所)・・・回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間。機械・装置操作が苦手な方でも簡単ボタン操作設定。
  • 装置機種:2タイプ(1インチ用・2インチ用)
    型式:labo-coat/(1インチ用)  labo-coat-2/(2インチ用)






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精密スリットコーター

・基板サイズ:400×500㎜(MAX)
・低粘度~高粘度まで対応(数cps~10,000cps)
フォトレジスト、ポリイミド、インク剤、塗装材料など
・精密ステージ:石定盤(平坦度:10μm以下)
・搬送駆動:リニアモーター・リニアガイド・サーボモーター
・塗布供給方式:シリンジポンプ(独自の社内開発品)

ディップコーター

・機能性フイルム・光学レンズを両面コートする開発向け設備。
・基材サイズ:Φ25㎜~370×470㎜H
・上下、撹拌搬送駆動
・左右搬送駆動
・処理槽内薬液循環システム
・装置内部、湿度管理システム