300㎜ウエハ用スピンコーターライン

 2021.01.10 NEWS

12インチウエハ用スピンコーターラインを受注いたしました。
ロボットでの自動搬送、ウエハアライナー・コーター・ホットプレート・冷却プレートを装備したインライン装置となります。

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